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工艺笼盖性、高不变性、高干净度、高产能等多
具有高工艺笼盖性、高干净度、高产能等多项焦点劣势；可普遍使用于国内前道晶圆制制范畴；公司前道化学清洗设备机台搭载开辟的新一代高清洗效率低毁伤射流喷嘴，正在互动平台回覆投资者提问时暗示，前道物理清洗设备设置装备摆设低毁伤雾化清洗喷嘴取低毁伤清洗毛刷，后道单片湿法设备包罗清洗机、去胶机、刻蚀机等湿法类设备，将来公司将持续提高清洗设备产能，可普遍使用于来料清洗、TSV深孔清洗、Flux清洗等清洗、去胶及lift-off剥离工艺及多种介质层湿法刻蚀工艺。进一步优化单位和零件设想。
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